3D打印納米諧振器面向小型化和多功能傳感器應用

來源：電子工程3D打印  

微電子機械器件基于在微米級集成機械和電子。在日常生活中每天都會用到它們。例如，在手機中至少有十幾個微電子機械器件用于控不同的動作，從移動、位置和手機傾斜監(jiān)測，以及用于不同波段傳輸和手機自身的麥克風的有源濾波器。

更有意思的是這種極致的納米級微型器件，由于它其所具有可與單分子交互的敏感性提供了創(chuàng)建慣性、質量和力傳感器的可能。

然而，由于納米電子機械傳感器仍被限制于高昂成本的傳統(tǒng)硅基技術。相反地，新技術像3D打印已經(jīng)展現(xiàn)類似的結構可以低成本實現(xiàn)并且具有固有的功能特性，但是迄今為止作為質量傳感器的性能很差。

發(fā)表在NatureCommunication的文章“Reaching silicon-based NEMS performances with 3D printernanomechanical resonators”展示了是怎么從3D打印來獲得機械納米諧振器，且相比硅基諧振器具有一定的靈敏值，像質量因數(shù)、穩(wěn)定性、質量敏感性和強度。這項研究是都靈理工大學和希伯來大學的合作，是由Ido Cooperstein 和Shlomo Magdassi教授共同研究成果。

不同的納米器件（薄膜、懸臂、橋接）是通過雙光子技術在新的液體成分中實現(xiàn)，通過后續(xù)的熱過程去除有機溶劑，留下具有高剛性和低分散性的陶瓷結構。所獲得的試樣通過Laser Dopper Vibrometry公司進行表征。

所制造的納米電子機械傳感器，經(jīng)過表征所具有的機械性能與現(xiàn)有的硅基器件相當，但是其制造過程更簡單、更快、更具多樣性，多虧其具有增加新的化學物理功能性的可能。例如，這篇文章所用到的釔鋁石榴石晶體（Nd:YAG）通常被用于紅外范圍的固態(tài)激光源。

這種生產與硅基相媲美且復雜、小型化器件的能力，通過快捷、簡單3D打印工藝，為增材制造和快速成型領域帶來新視野。